
| Grating Pitch | 20um |
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| Termal kengayish | 10,6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Rezolyutsiya | 0,5-1-5 mkm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Takroriylik | ±1 o'sish | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maksimal tezlik m/min | 60 (5 mkm); 20 (1 mkm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Chiqish turi | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maks. Tezlashtirish | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Himoya | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Quvvatlantirish manbai | 60mA Maks | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Faza almashinuvi | 90°±5° elektr | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ishlash harorati | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Saqlash harorati | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Namlik | 100% kondensatsiyalanmagan |